Оператор прецизионной фотолитографии

Оператор прецизионной фотолитографии

Просмотров 2504| Количество голосов 0 | Средний бал 0

Оценка: 0

§ 82. Оператор прецизионной фотолитографии 2-го разряда

Характеристика работ. Подготовка пластин кремния, заготовок масок, ситалловых, керамических, металлических и стеклянных пластин с маскирующим слоем перед нанесением светочувствительного покрытия (обезжиривание и декапирование, промывка, сушка). Нанесение и сушка светочувствительного покрытия; контроль качества выполненной работы (оценка клина проявления, неровности края, замеры линейных размеров с помощью микроскопа МИИ-4). Сушка заготовок в термостате. Удаление светочувствительного покрытия в случае необходимости. Формирование партии пластин для обработки на автоматизированном оборудовании. Разбраковка изделий по параметру неплоскостности, по внешнему виду, по номеру фотолитографии, по типономиналу. Химическая очистка и мытье посуды. Приготовление хромовой смеси.

Должен знать: наименование и назначение важнейших частей и принцип действия обслуживаемого оборудования (центрифуга, ванна, сушильный шкаф); назначение и условия применения специальных приспособлений и приборов для контроля процесса; основные свойства фоторезистов; назначение и работу микроскопов; состав и основные свойства светочувствительных эмульсий, правила хранения и использования их; основные химические свойства применяемых материалов.

Примеры работ

1. Детали листовые декоративные из меди и медных сплавов — изготовление методом фотохимического травления.

2. Заготовки масок — обезжиривание, декапирование, промывание, сушка, нанесение светочувствительного слоя.

3. Заготовки печатных плат — зачистка, декапирование, промывание, сушка.

4. Заготовки пластин, прокладки, изготовленные методом фотохимфрезерования — обезжиривание, сушка.

5. Маски, пластины, фотошаблоны — промывание, сушка, нанесение светочувствительного слоя, задубливание фотослоя.

6. Микросхемы интегральные гибридные типа «Посол» — сушка и полимеризация фоторезиста.

7. Микросхемы пленочные и металлизированные фотошаблоны — изготовление фотохимическим методом.

8. Пластины полупроводниковые и диэлектрические, ферриты — обезжиривание, декапирование, промывание, сушка.

9. Подложки ситалловые — снятие фоточувствительного слоя.

10. Стекла 700 x 700 x 3 — очистка и обработка ацетоном, полив вручную гравировальной жидкостью.

§ 83. Оператор прецизионной фотолитографии 3-го разряда

Характеристика работ. Проведение фотолитографических операций по совмещению элементов рисунка топологии схемы на пластине с соответствующими элементами на фотошаблоне с точностью +/- 5 мкм на установках совмещения и экспонирования. Экспонирование, проявление и задубливание фотослоя, а также травление различных материалов (окиси кремния, металлов и многокомпонентных стекол, включая многослойные структуры из различных металлов) по заданным в технологии режимам. Контроль качества травления. Термообработка, отмывка фотошаблонов в процессе их эксплуатации. Приготовление растворов для проявления, травления. Фильтрация фоторезиста. Снятие фоторезиста в кислотах, органических растворителях. Защита поверхности пластин пассивирующей пленкой. Контроль качества клина, проявления и травления на микроскопах. Измерение вязкости фоторезиста.

Должен знать: назначение, устройство, правила и способы подналадки оборудования, приспособлений и инструмента (микроскопов, ультрафиолетовой и инфракрасной ламп, термостата, контактных термометров и вискозиметров); режимы проявления фотослоев; технологические приемы травления различных материалов (окись кремния, металлы и др.); подбор времени экспонирования и травления; основные свойства фоточувствительных эмульсий и их компонентов.

Примеры работ

1. Заготовки масок, ферритовые металлизированные пластины — получение копии изображения схемы (экспонирование, проявление, дубление, окрашивание, промывание и т.д.).

2. Маски биметаллические — изготовление методом фотохимического травления.

3. Микросхемы интегральные гибридные типа «Посол» — нанесение фоторезиста; проявление изображения; удаление фоторезиста.

4. Микротрасформаторы планарные — проведение последовательного ряда фотохимических операций.

5. Пластины — нанесение фоторезиста; ретушь фоторезиста в соляной кислоте.

6. Пластины кремния — нанесение, сушка, совмещение некритичных фотогравировок; экспонирование, проявление, задубливание фотослоя.

7. Платы печатные и пластины, изготовляемые методом фотохимфрезерования — проявление и удаление фоторезиста.

8. Пленочные схемы СВЧ — проведение цикла фотолитографических операций.

9. Подложки ситалловые — травление, экспонирование.

§ 84. Оператор прецизионной фотолитографии 4-го разряда

Характеристика работ. Проведение всего цикла фотолитографических операций с разными материалами на одном образце с точностью совмещения +/- 2 мкм. Травление многослойных структур (AL-MO-AL) и сложных стекол (ФСС, БСС). Подбор и корректировка режимов нанесения, экспонирования, проявления, травления в зависимости от применяемых материалов в пределах технологической документации. Отмывка фотошаблонов, нанесение, сушка фоторезиста, проявление, задубливание, травление на автоматических линиях. Определение толщины фоторезиста и глубины протравленных элементов с помощью профилографа, профилометра. Определение адгезии фоторезиста и плотности проколов с помощью соответствующих приборов. Замер линейных размеров элементов под микроскопом. Совмещение маски и фотошаблона по реперным модулям и элементам. Определение процента дефектных модулей на фотошаблоне в процессе эксплуатации. Ретушь копии схемы с помощью микроскопа. Аттестация геометрических размеров элементов на маске и пластине кремния с помощью микроскопов с точностью +/- 3 мкм, на фотошаблоне — с точностью +/- 0,2 мкм. Проведение процесса двухсторонней фотолитографии. Определение неисправностей в работе установок и автоматического оборудования и принятие мер к их устранению.

Должен знать: устройство, правила наладки и проверки на точность поддержания технологических режимов всех установок автоматов, входящих в технологическую линию фотолитографии; правила настройки микроскопов; способы приготовления и корректирования проявляющих и других растворов; последовательность технологического процесса изготовления изделий (транзистора, твердой схемы); причины изменения размеров элементов, неровности краев, недостаточной их резкости и методы их устранения; фотохимический процесс проявления фоточувствительных эмульсий; способы определения дефектов на эталонных и рабочих фотошаблонах; основы электротехники, оптики и фотохимии.

Примеры работ

1. Диоды, ВЧ-транзисторы, фотошаблоны с размерами элементов более или равными 10 мкм — проведение всего цикла фотолитографических операций.

2. Заготовки масок — электрохимическое никелирование.

3. Микротранзисторы и твердые схемы — проведение полного цикла фотохимических операций при изготовлении.

4. Микросхемы интегральные гибридные типа «Посол» — проведение процессов экспонирования с предварительным совмещением, травление.

5. Микросхемы — проведение полного цикла фотохимических операций при изготовлении.

6. Пластина — проведение полного цикла фотолитографических операций, защита фоторезистом; непланарная сторона пластины — защита.

7. Пластины, фотошаблоны после фотолитографии — контроль качества поверхности под микроскопом МБС.

8. Пластины ИС с размерами элементов более 10 мкм — контроль качества проявления, травления.

9. Платы печатные, микросхемы СВЧ — травление.

10. Подложки, подложки ситалловые, микросхемы СВЧ — нанесение фоторезиста с помощью центрифуги с контролем оборотов по графику; определение толщины слоя фоторезиста.

11. Поликремний — проведение полного цикла фотолитографии.

12. Проведение процесса фотолитографии для получения рельефа из напыленных металлов: ванадий + молибден + алюминий с предварительным совмещением заданной точности.

13. Проекционная фотолитография — подбор экспозиции и резкости на установках проекционной фотолитографии.

14. Сетки мелкоструктурные — изготовление методом фотолитографии.

15. Сетки молибденовые и вольфрамовые — травление.

16. Теневая маска для цветных кинескопов — контроль качества отверстий и поверхности под микроскопом; исправление дефектов под микроскопом.

17. Фотошаблоны эталонные — изготовление.

18. Фотошаблоны — контроль качества поверхности под микроскопом МБС или МБИ-11; контроль размеров на соответствие с паспортными данными под микроскопом МИИ-4.

§ 85. Оператор прецизионной фотолитографии 5-го разряда

Характеристика работ. Проведение фотолитографических операций по изготовлению: теневых масок со сложной конфигурацией и ассиметричным расположением отверстий; совмещенных микросхем, состоящих из полупроводниковой активной подложки с напыленными пленочными элементами; выводных рам для интегральных схем, трафаретов и других узлов и деталей, требующих прецизионной обработки. Проведение фотолитографических операций на многослойных структурах с размерами элементов менее 1 мкм с точностью совмещения +/- 1 мкм. Выбор и корректировка оптимальных режимов проведения фотолитографических процессов в зависимости от типа подложки, применяемых материалов и результатов выполнения технологических операций, с которых поступает данное изделие. Работа на установке совмещения с точностью совмещения +/- 2 мкм. Обслуживание установки совмещения; контроль освещенности рабочей поверхности, зазоров и давления. Определение величины рассовмещения комплекта эталонных и рабочих фотошаблонов, определение оптической плотности фотошаблонов на микроинтерферометре и микрофотометре, определение оптической прозрачности теневых масок на денситометре с точностью до 2 мкм. Оценка качества фотолитографии (качества травления, величины рассовмещения, неравномерности края, контроль соответствия топологии на пластине конструкторской документации). Нанесение светочувствительных эмульсий и проведение процесса фотоэкспонирования для получения заготовок маски и растворов цветного кинескопа.

Должен знать: конструкцию, механическую, электрическую и оптическую схемы установок совмещения различных моделей; правила определения режимов процесса прецизионной фотолитографии для изготовления твердых и совмещенных микросхем; правила настройки и регулирования контрольно-измерительных приборов; принцип действия и правила работы на установке сравнения фотошаблонов, микроинтерферометре, микрофотометре, денситометре; способы крепления и выверки пластин для многократного совмещения; основы физико-химических процессов фотолитографического получения микросхем.

Примеры работ

1. Магнитные интегральные схемы — проведение полного цикла фотолитографических операций.

2. Маски теневые и совмещенные микросхемы — проведение полного цикла фотолитографических операций с самостоятельной корректировкой режимов работы.

3. Пластины БИС, ВЧ (СВЧ) транзисторов с размерами элементов менее 10 мкм — проведение всего цикла фотолитографических операций.

4. Пластины, изготавливаемые методом химфрезерования, — вытравливание контура с контролем процесса травления под микроскопом; контроль готовых пластин.

5. Платы печатные и пластины, изготавливаемые методом химфрезерования — нанесение фоторезиста на заготовку с определением равномерности покрытия по толщине; экспонирование с предварительным совмещением фотошаблона.

6. Транзистор, диоды — совмещение с точностью от 2 мкм и более.

7. Фоторезист — фильтрация через специальные приспособления.

8. Фотошаблоны — контроль качества под микроскопом с разбраковкой по 5 — 10 параметрам; изготовление на фотоповторителях.

9. Фотошаблоны рабочие и эталонные — определение рассовмещения комплекта на установке сравнения фотошаблонов.

10. Фотошаблоны эталонные — подготовка к контактной печати.

§ 86. Оператор прецизионной фотолитографии 6-го разряда

Характеристика работ. Проведение всего цикла фотолитографических операций по изготовлению микросхем и пластин различных типов с размерами элементов менее 5 мкм и точностью совмещения +/- 0,5 мкм. Обслуживание всех видов установок совмещения, применяемых в прецизионной фотолитографии. Контроль качества проявленного и травленного рельефа, работа со всеми видами фоторезисторов (негативным и позитивным) с применением любых типов ламп ультрафиолетового свечения; самостоятельный подбор и корректировка режимов работы. Выявление и устранение причин, вызывающих низкое качество фотошаблонов в процессе их изготовления. Аттестация геометрических размеров элементов на маске с помощью микроскопов с точностью +/- 1 мкм. Изготовление сложных фотокопий масок и растров на пластинках из металла марки МП95-9 и стекла путем негативного и позитивного копирования с точностью совмещения оригиналов до 1 — 2 мкм.

Должен знать: конструкцию, способы и правила проверки на точность оборудования прецизионной фотолитографии различных типов; химические и физические свойства реагентов и материалов, применяемых в работе; методы определения последовательности и режимов фотолитографических процессов для микросхем, дискретных приборов различной сложности; расчеты, связанные с выбором оптимальных режимов ведения процесса прецизионной фотолитографии; методы определения пленок на интерферометрах.

Требуется среднее профессиональное образование.

Примеры работ

1. Микротранзисторы и твердые схемы — проведение полного цикла фотохимических операций при изготовлении.

2. Пластины БИС, СБИС, транзисторов, СВЧ-транзисторов с размерами элементов менее 5 мкм — контроль после задубливания, травления, фотолитографии; классификация по видам брака.

3. Фотошаблоны образцовые прецизионные — изготовление опытных партий.

4. Фотошаблоны эталонные — определение пригодности изготовленного комплекта для производства рабочих копий.

§ 87. Оператор прецизионной фотолитографии 7-го разряда

Характеристика работ. Проведение полного цикла фотолитографического процесса по изготовлению сверхбольших интегральных схем (СБИС) с размерами элементов 2 мкм, точностью совмещения +/- 0,15 мкм и размером рабочего модуля 10 x 10 мм. Обслуживание установок совмещения и мультипликации всех типов, установок нанесения и сушки, проявления и задубливания фоторезиста на линии типа Лада-150 с программным управлением. Ввод коррекции на совмещение слоев, оценка значения масштаба и разворота на проекционной печати, качества совмещения внутри модуля и по полю пластины. Ввод рабочих программ для обеспечения автоматического режима работы оборудования. Определение дефектности фоторезиста и локализация узла оборудования, генерирующего дефекты. Измерение линейных размеров на автоматическом измерителе типа «Zeltz». Входной контроль металлизированного промежуточного оригинала (МПО), подготовка его к работе, сборка и выдача в работу с двухсторонней защитой пелликлом.

Должен знать: конструкцию и принцип работы фотолитографического оборудования с программным управлением; правила пользования автоматической системой управления движением пластин; методы корректировки технологических режимов формирования фоторезистивных покрытий по результатам контроля основных характеристик фоторезиста и лака.

Требуется среднее профессиональное образование.

Примеры работ

1. Металлизированные промежуточные оригиналы (МПО) — изготовление пробных отсъемов; контроль совмещаемости слоев.

2. Пластины СБИС с размером элементов 2 мкм — проведение полного технологического цикла фотолитографических операций и контроль качества выполнения их перед проведением плазмохимических процессов.

3. Рамка контактная — проведение полного цикла фотолитографических операций.

4. Шаблоны пленочные с допуском несовмещения 15 мкм — проведение полного технологического цикла фотолитографических операций.

НАВЕРХ

Дело № 2-854/12

№2-854/12г.

Строка №27

РЕШЕНИЕ

Именем Российской Федерации

«17» апреля 2012 года Центральный районный суд г. Воронежа

в составе:

председательствующего судьи Клочковой Е.В.,

при секретаре Шерстниковой Н.И.,

с участием представителя истца по доверенности Исмагиловой Н.С.,

представителя ответчика по доверенности Крыловой Э.В., представителя 3-его лица ОАО «Видеофон» по доверенности Рублевой О.А.,

в отсутствие истца Сухочевой О.Н., представителя Департамента труда и социального развития Воронежской области, представителя ОАО завод «Процессор»

рассмотрел в открытом судебном заседании гражданское дело по иску Сухочевой Ольги Николаевны к ГУ Управление Пенсионного Фонда РФ в г. Воронеже о признании права на назначение досрочной трудовой пенсии по старости с 14.12.2010г., о возложении обязанности включить в специальный стаж периоды работы в качестве оператора прецизионной фотолитографии, о возложении обязанности назначить досрочную трудовую пенсию по старости с 14.12.2010г.,

установил:

14.12.2010г. Сухочева О.Н. обратилась в ГУ УПФ РФ в г. Воронежа с заявлением о назначении досрочной трудовой пенсии по старости в соответствии с абз.2 пп. 2 п.1 ст. 27 Федерального закона №173-ФЗ от 17.12.2001г. «О трудовых пенсиях в Российской Федерации».

Решением Комиссии Управления Пенсионного фонда РФ (государственное учреждение) в г. Воронеже по рассмотрению вопросов реализации пенсионных прав застрахованных граждан, протокол № 17/7 от 11.03.2011 г., измененным решением №11/ от 27.01.2012 г. Сухочевой О.Н. было отказано в назначении досрочной трудовой пенсии по старости из-за отсутствия необходимого стажа в соответствии с кодом позиции списка № 2170600а-15916 раздела XVI «Производство изделий электронной техники и радиоаппаратуры» Списка № 2 производств, работ, профессий, должностей и показателей с вредными и тяжелыми условиями труда, занятость в которых дает право на пенсию по возрасту (по старости) на льготных условиях, утвержденного Постановлением Кабинета министров СССР от 26.01.1991 г. № 10, в качестве оператора прецизионной фотолитографии.

В частности истцу не были зачтены периоды работ с 04.04.1983г. по 31.08.1986г. в качестве оператора фотолитографии на заводе «Процессор» (переименованного в ОАО «Завод Процессор»), так как наименование профессии «оператор фотолитографии» не предусмотрено вышеуказанным кодом позиции Списка №2, утвержденного постановлением Кабинета Министров СССР от 26.01.1991г. №10. Назначение заявительницы по профессии «оператор прецизионной фотолитографии», согласно новых штатных расписаний с установлением ей новых тарифных ставок и должностных окладов осуществлен с 01.09.1986г. приказом директора завода №110/к от 15.09.1988г. Факт осуществления работ предусмотренных для «оператора прецизионной фотолитографии» за время работы заявителя в качестве оператора фотолитографии документально не подтвержден. С 01.11.1990г. по 20.12.1995г. в качестве оператора прецизионной фотолитографии в цехе №40 на заводе при Научно-исследовательском институте бытовой видеотехники (в настоящее время ОАО «Видеофон»), так как работодателем не подтвержден факт льготной работы в связи с отсутствием в архиве предприятия первичных документов, подтверждающих наличие в цехе №40 производства «переработки полупроводниковых материалов», что предусмотрено вышеуказанным кодом позиции Списка №2, справка уточняющая особый характер работы не представлена.

Считая действия ответчика необоснованными истец обратилась в суд с настоящим иском, в котором просит: установить факт работы в качестве оператора фотолитографии на заводе «Процессор» в период с 04 апреля 1983 года по 31 августа 1986 года; с 01 ноября 1990 года по 20 декабря 1995 года в цехе № 40 на заводе при научно-исследовательском институте бытовой видеотехники ( в настоящее время ОАО «Видеофон»); обязать ГУ-УПФ РФ в г. Воронеже включить в стаж работы, дающий право на досрочное назначение трудовой пенсии по старости в связи с тяжёлыми условиями труда, периоды работы: с 04 апреля 1983 года по 31 августа 1986 года в качестве оператора прецизионной фотолитографии на заводе «Процессор»; с 01 ноября 1990 года по 20 декабря 1995 года в цехе № 40 на заводе при научно-исследовательском институте бытовой видеотехники ( в настоящее время ОАО «Видеофон») в качестве оператора прецизионной фотолитографии; признать право на досрочное назначение трудовой пенсии по старости в соответствии с пп. 2 пункта 1 статьи 27 Федерального закона от 17.12.2001 г. № 173-ФЗ «О трудовых пенсия в РФ» с 11 декабря 2010 года; обязать ГУ-УПФ РФ в г. Воронеже назначить и выплатить досрочную трудовую пенсию по старости в связи с тяжёлыми условиями труда в соответствии с подпунктом 2 пункта 1 статьи 27 Федерального закона от 7.12.2001 г. № 173-ФЗ «О трудовых пенсия в РФ», с 11 декабря 2010 года; взыскать с ГУ-УПФ РФ в г. Воронеже расходы по оплате государственной пошлины в размере 600 рублей.

В судебном заседании представитель истца по доверенности Исмагилов Н.С. отказалась от исковых требований в части установления факта работы в качестве оператора прецизионной фотолитографии на заводе «Процессор» в период с 04 апреля 1983 года по 31 августа 1986 года; с 01 ноября 1990 года по 20 декабря 1995 года в цехе № 40 на заводе при научно-исследовательском институте бытовой видеотехники ( в настоящее время ОАО «Видеофон»), отказ принят судом, о чем вынесено определение.

Представила уточненное исковое заявление, в котором просит:

— обязать ГУ-УПФ РФ в г. Воронеже включить в стаж работы, дающий право на досрочное назначение трудовой пенсии по старости в связи с тяжёлыми условиями труда, в соответствии с абз.2, пп. 2 пункта 1 статьи 27 Федерального закона от 17.12.2001 г. № 173-ФЗ «О трудовых пенсия в РФ» периоды работы: с 04 апреля 1983 года по 31 августа 1986 года в качестве оператора фотолитографии на заводе «Процессор»; с 01 ноября 1990 года по 20 декабря 1995 года в цехе № 40 на заводе при научно-исследовательском институте бытовой видеотехники ( в настоящее время ОАО «Видеофон») в качестве оператора прецизионной фотолитографии;

— признать право на досрочное назначение трудовой пенсии по старости в соответствии с абз.2, пп. 2 пункта 1 статьи 27 Федерального закона от 17.12.2001 г. № 173-ФЗ «О трудовых пенсия в РФ» с 14 декабря 2010 года;

— обязать ГУ-УПФ РФ в г. Воронеже назначить и выплатить досрочную трудовую пенсию по старости в связи с тяжёлыми условиями труда в соответствии с абз.2 подпунктом 2 пункта 1 статьи 27 Федерального закона от 7.12.2001 г. № 173-ФЗ «О трудовых пенсия в РФ» с 14 декабря 2010 года;

— взыскать с ГУ-УПФ РФ в г. Воронеже расходы по оплате государственной пошлины в размере 200 рублей.

Представитель истца по доверенности Исмагилова Н.С. в судебном заседании иск поддержала, просила суд его удовлетворить, пояснив, что в должностные обязанности оператора прецизионной фотолитографии входило занятие на операциях по изготовлению сетчатых трафаретов, нанесению маркировки и масочных покрытий сеткографическим способам. Изготовление сетчатых трафаретов включало операции натяжения сетки на раму, подготовки поверхности сетки путём обезжиривания её растворителем, приклеивания к раме клеем, на трафарет наносится жидкий резист, который затем экспонирует лампами ультрафиолетового освещения, после экспонирования рисунок печатной платы проявляется этиловым спиртом с растворителем 646. Вредность обусловлена выделением озона (1-ый класс опасности) при экспонировании, толуола и аналогичных веществ (3-ий класс опасности) при промывке растворителем. Технические требования «Платы печатные», разработанные и утверждённые 02.01.1985 года предусматривают использование плёнки полиэтилентерефталатной ПТФ 35-50. самоклеивающей ЛТ-19, спирта этилового ректификованного технического, перчаток капроновых, средства для антистатической обработки синтетических материалов. Понятия «оператор фотолитографии» тождественно понятию «оператор прецизионной фотолитографии».

Истец в судебное заседание не явился, о месте и времени рассмотрения дела извещен надлежащим образом, о чем имеется уведомление.

Представитель ответчика по доверенности Крылова Э.В., с иском не согласилась, просила суд отказать в его удовлетворении, пояснив, что спорные периоды работы истца не включены в специальный стаж, по следующим основаниям, с 04.04.1983г. по 31.08.XXXX г.работы истца в качестве оператора фотолитографии на заводе «Процессор» (переименованного в ОАО «Завод Процессор»), так как наименование профессии «оператор фотолитографии» не предусмотрено кодом позиции Списка №2, утвержденного постановлением Кабинета Министров СССР от 26.01.1991г. №10. Назначение истцу пенсии по профессии «оператор прецизионной фотолитографии», согласно новых штатных расписаний с установлением ей новых тарифных ставок и должностных окладов осуществлен с 01.09.1986г. приказом директора завода №110/к от 15.09.1988г. Факт осуществления работ предусмотренных для «оператора прецизионной фотолитографии» за время работы заявитель в качестве оператора фотолитографии документально не подтвержден.

С 01.11.1990г. по 20.12.XXXX г.работы истца в качестве оператора прецизионной фотолитографии в цехе №40 на заводе при Научно-исследовательском институте бытовой видеотехники (в настоящее время ОАО «Видеофон»), так как работодателем не подтвержден факт льготной работы в связи с отсутствием в архиве предприятия первичных документов, подтверждающих наличие в цехе №40 производства «переработки полупроводниковых материалов», что предусмотрено вышеуказанным кодом позиции Списка №2, справка уточняющая особый характер работы не представлена. По состоянию на 14.12.2010г. специальный стаж работы по Списку №2 у Сухочевой Ольги Николаевны составляет 4 года 1 месяц 22 дня, что не дает права на назначение досрочной трудовой пенсии по старости в соответствии с абзацем 2 подпункта 2 пункта 1 статьи 27 Федерального Закона от 17.12.2001г. №173-Ф3 «О трудовых пенсиях в Российской Федерации», в соответствии с которым истцу требуется 6 лет специального стажа работы по Списку №2.

Представитель 3-его лица ОАО «Видеофон» по доверенности Рублева О.А. в судебном заседании считала, что заявленные истцом требования в части включения в специальный стаж периода с 01.11.1990г. по 20.12.XXXX г.работы истца в качестве оператора прецизионной фотолитографии в цехе №40 на заводе при Научно-исследовательском институте бытовой видеотехники (в настоящее время ОАО «Видеофон») подлежат удовлетворению, т.к. на участке где работала Сухачева О.Н. были вредные условия труда, периодически занимались травлением плат, работникам выдавалось молоко, проводился медицинский осмотр, был предусмотрен дополнительный отпуск, выплачивались повышенные премии. Выдать истцу справку, уточняющую особый характер работы не представлялось возможным, поскольку утеряны многие документы, включая карты аттестации, документы по техпроцессам, должностная инструкция не велась.

Представитель ОАО завод «Процессор» в судебное заседание не явился, о месте и времени судебного заседания извещены надлежащим образом по последнему известному суду адресу.

Выслушав участвующих в деле лиц, исследовав материалы дела, суд находит иск подлежащим удовлетворению частично по следующим основаниям.

Федеральный Закон «О трудовых пенсиях в Российской Федерации», введенный в действие с 01.01.2002г., устанавливает основания возникновения и порядок реализации прав граждан Российской Федерации на трудовые пенсии.

Право на досрочное назначение пенсии по подп.2 п.1 ст. 27 Федерального закона «О трудовых пенсиях в Российской Федерации» № 173-ФЗ имеет женщина по достижению возраста 50 лет, если она проработала на работах с тяжелыми условиями труда не менее 10 лет и имеет страховой стаж не менее 20 лет.

В случае если женщина проработала на перечисленных работах не менее половины установленного срока, и имеет требуемую продолжительность страхового стажа, трудовая пенсия ей назначается с уменьшением возраста, предусмотренного ст. 7 настоящего Федерального закона, на один год за каждый два год такой работы (абз.2 пп.2 п.1 ст. 27).

При определении права на досрочное назначение трудовой пенсии по старости в соответствии с пп.2п.1 ст.27 Закона от 17.12.2001г. применяется «Список производств, работ, профессий, должностей и показателей на подземных работах, на работах с особо вредными и особо тяжелыми условиями труда, занятость в которых дает право на пенсию по возрасту (по старости) на льготных условиях», утвержденный Постановлением Кабинета Министров СССР от 26.01.1991г. № 10 (Список №2).

При исчислении специального стажа руководствуются Правилами исчисления периодов работы, дающие право на досрочное назначение трудовой пенсии по старости в соответствии со ст. ст. 27,28 Закона «О трудовых пенсиях в РФ», утвержденных Постановлением Правительства РФ №516 от 11.07.2002г.

В соответствии с п.4 Правил от 11.07.2002г. в стаж работы, дающей право на досрочное назначение трудовой пенсии по старости, засчитываются периоды работы, выполняемые постоянно в течение полного рабочего дня. Понятие полного рабочего дня закреплено в п.5 Разъяснений Министерства труда РФ №5 от 22.05.1996г. «О порядке применения Списков производств, работ, профессий, должностей и показателей, дающих в соответствии со ст. 12,78 и 78.1 Закона РСФСР «О государственных пенсиях в РСФСР» право на пенсию по старости в связи с особыми условиями труда и на пенсию за выслугу лет, утвержденного Постановлением Министерства труда № 29 от 22.05.1996г.

В соответствии с кодом позиции 2170600а-15916 раздела XVI «Производство изделий электронной техники и радиоаппаратуры» Списка №2 производств, работ, профессий, должностей и показателей с вредными и тяжелыми условиями труда, занятость в которых дает право на пенсию по возрасту (по старости) на льготных условиях, утвержденного Постановлением Кабинета Министров СССР от 26.01.1991 г. № 10 оператор прецизионной фотолитографии имеет право на пенсию по возрасту (по старости) на льготных условиях

На основании пояснений участвующих в деле лиц, копии трудовой книжки, протокола заседания комиссии, имеющихся в деле, справки о заработке при начислении пенсии, справка ОАО «Видеофон» от октября XXXX г.работе истца в ОАО «Видеофон», приказа о прекращении трудового договора от 25.10.1990г., карточек формы Т.2, приказа о приеме на работу № 1266а от 01.11.1990г., приказа о прекращении трудового договора №1180 от 20.12.1995г., копий коллективных договоров и приложений к ним за период с 1990 по 1995 годы, расчетных листков, копии которых приложены к материалам дела, Судом установлено, что Сухочева О.Н. в период с 01 ноября 1990 года по 20 декабря XXXX г.работала в цехе № 40 на заводе при научно-исследовательском институте бытовой видеотехники (в настоящее время ОАО «Видеофон») в качестве оператора прецизионной фотолитографии 3-го разряда, в период работы, осуществлял операции по изготовлению сетчатых трафаретов, нанесению маркировки и масочных покрытий сеткографическим способам, травление различных материалов.

Согласно Постановления министерства труда и социального развития РФ от 21 января 2000г. N 5 » Об утверждении единого тарифно-квалификационного справочника работ и профессий рабочих, выпуск 20, разделы: общие профессии производства изделий электронной техники», «полупроводниковое производство», «производство радиодеталей», электровакуумное производство», «пъезотехническое производство» характер работы в качестве оператор прецизионной фотолитографии 3-го разряда, состоит в проведении фотолитографических операций по совмещению элементов рисунка топологии схемы на пластине с соответствующими элементами на фотошаблоне с точностью +/- 5 мкм на установках совмещения и экспонирования. Экспонирование, проявление и задубливание фотослоя, а также травление различных материалов (окиси кремния, металлов и многокомпонентных стекол, включая многослойные структуры из различных металлов) по заданным в технологии режимам. Контроль качества травления. Термообработка, отмывка фотошаблонов в процессе их эксплуатации. Приготовление растворов для проявления, травления. Фильтрация фоторезиста. Снятие фоторезиста в кислотах, органических растворителях. Защита поверхности пластин пассивирующей пленкой. Контроль качества клина, проявления и травления на микроскопах. Измерение вязкости фоторезиста. К примерам работ оператора прецизионной фотолитографии 3-го разряда относится:

— заготовки масок, ферритовые металлизированные пластины — получение копии изображения схемы (экспонирование, проявление, дубление, окрашивание, промывание и т.д.).

— маски биметаллические — изготовление методом фотохимического травления.

— микросхемы интегральные гибридные типа «Посол» — нанесение фоторезиста; проявление изображения; удаление фоторезиста.

— микротрасформаторы планарные — проведение последовательного ряда фотохимических операций.

— пластины — нанесение фоторезиста; ретушь фоторезиста в соляной кислоте.

— пластины кремния — нанесение, сушка, совмещение некритичных фотогравировок; экспонирование, проявление, задубливание фотослоя.

— платы печатные и пластины, изготовляемые методом фотохимфрезерования — проявление и удаление фоторезиста.

— пленочные схемы СВЧ — проведение цикла фотолитографических операций.

— подложки ситалловые — травление, экспонирование.

Из пояснений представителя ОАО «Видеофон» в судебном заседании, списков производств, профессий и должностей, имеющих право на получение дополнительного отпуска за работу во вредных условиях труда по институту работа в должности ОАО «Видеофон» ( протоколы от 1990-1995г., приложения к коллективным договорам), перечней работников имеющих право на бесплатное получение молока или других равноценных продуктов, работающих во вредных условиях труда ОАО «Видеофон», расчетных листков, служебной записки 31-14/с копии которых приложены к материалам дела на участке где работала Сухачева О.Н. в спорный период, были вредные условия труда, работникам выдавалось молоко, проводился медицинский осмотр, был предусмотрен дополнительный отпуск, выплачивались повышенные премии, доплата за вредные условия труда.

В соответствии с приказом Министерства здравоохранения и социального развития РФ от 25 декабря 2006 г. N 873 «Об утверждении типовых норм бесплатной выдачи сертифицированных специальной одежды, специальной обуви и других средств индивидуальной защиты ….» оператору прецизионной фотолитографии обеспечиваются следующие средства индивидуальной защиты: халат хлопчатобумажный; перчатки кислотощелочестойкие; перчатки с полимерным покрытием; при выполнении работ по травлению изделий дополнительно: костюм из смешанных тканей для защиты от растворов кислот; сапоги резиновые; каска защитная; очки защитные; респиратор; противогаз.

Учитывая изложенный обстоятельства, следует придти к выводу, что период работы истца с 01.11.1990г. по 20.12.1995г. в качестве оператора прецизионной фотолитографии в цехе №40 на заводе при Научно-исследовательском институте бытовой видеотехники (в настоящее время ОАО «Видеофон») подлежит включению в специальный стаж дающий право на досрочную трудовую пенсию.

Удовлетворяя исковые требования в данной части следует отметить, что отсутствие справки уточняющей особый характер работы истца за данный период не может служить основанием в отказе в удовлетворении иска, поскольку справка не выдана истцу по причине утери полного пакета документов на основании которых она должна быть предоставлено, а не в связи с характером выполняемой истцом работы, при этом факт подтверждающий особый характер работы выполняемой истцом в спорный период нашел свое подтверждение в ходе исследования представленных в суд доказательств и пояснений представителя ОАО «Видеофон».

Требование истца в части включения в специальный трудовой стаж периода работы с 04.04.1983г. по 31.08.1986г. в качестве оператора фотолитографии на заводе «Процессор» (переименованного в ОАО «Завод Процессор») не подлежит удовлетворению, поскольку в деле имеются лишь сведения свидетельствующие о работе истца в данной должности в спорный период, однако какие либо доказательства подтверждающие характер выполняемой работы, занятость работника, вредность, тождество понятий и выполняемых функций (работ) предусмотренных для «оператора прецизионной фотолитографии» (штатные расписания; должностные инструкции; приказы о доплатах; коллективные договора; инструкции по техпроцессу работников завода «Процессор», свидетельские показания) отсутствуют и истцом не представлены. При этом следует отметить, что наименование профессии «оператор фотолитографии» не предусмотрено кодом позиции Списка №2, утвержденным постановлением Кабинета Министров СССР от 26.01.1991г. №10.

Согласно ст. 19 Закона №173-ФЗ трудовая пенсия назначается со дня обращения за указанной пенсией (за указанной частью трудовой пенсии по старости), за исключением случаев, предусмотренных пунктами 4 и 4.1 настоящей статьи, но во всех случаях не ранее чем со дня возникновения права на указанную пенсию,

Ответчиком суду представлен расчет стажа Сухочевой О.Н., согласно которому, с учетом включения в специальный стаж истца спорного периода работы в ОАО «Видеофон», специальный стаж составит 09 лет 03 месяца 12 дней, что является достаточным для назначения досрочной трудовой пенсии по старости в соответствии с абз. 2 п.п. 1 п. 1 ст. 27 «О трудовых пенсиях в РФ» № 173-ФЗ от 17.12.2001 г.

На основании пояснений участвующих в деле лиц, заявления приложенного к материалам дела, Судом установлено, что истец обратился в УПФ РФ (ГУ) г.Воронежа 14.12.2010г. На момент обращения истец имел право на досрочную пенсию, в связи с чем, суд приходит к выводу, что требование истца о признании за ней права на досрочное назначение трудовой пенсии по старости в соответствии с абз. 2 п.п. 1 п. 1 ст. 27 «О трудовых пенсиях в РФ» № 173-ФЗ от 17.12.2001 г. с 14.12.2010 г. подлежит удовлетворению.

Согласно ч. 1 ст. 98 ГПК РФ стороне, в пользу которой состоялось решение суда, суд присуждает возместить с другой стороны все понесенные по делу судебные расходы. В случае, если иск удовлетворен частично, указанные в настоящей статье судебные расходы присуждаются истцу пропорционально размеру удовлетворенных судом исковых требований, а ответчику пропорционально той части исковых требований, в которой истцу отказано.

Следовательно, с ответчика в пользу истца подлежат взысканию расходы по уплате государственной пошлины пропорционально размеру удовлетворенных судом исковых требований в размере 200 руб. 00 коп.

Руководствуясь ст.ст. 67, 194 — 199 ГПК РФ, суд

решил:

Исковые требования Сухочевой Ольги Николаевны к ГУ Управление Пенсионного Фонда РФ в г. Воронеже о признании права на назначение досрочной трудовой пенсии по старости с 14.12.2010г., о возложении обязанности включить в специальный стаж периоды работы в качестве оператора прецизионной фотолитографии, о возложении обязанности назначить досрочную трудовую пенсию по старости с 14.12.2010г. удовлетворить частично.

Обязать ГУ Управление Пенсионного Фонда РФ в г.Воронеже включить Сухочевой Ольге Николаевне в стаж, дающий право на назначение трудовой пенсии по старости досрочно в соответствии с абз.2 подп.2 п.1 ст. 27 Федерального закона № 173-ФЗ от 17.12.2001г. «О трудовых пенсиях в Российской Федерации» период работы с 01.11.1990г. по 20.12.1995г. в качестве оператора прецизионной фотолитографии в цехе №40 на заводе при Научно-исследовательском институте бытовой видеотехники (в настоящее время ОАО «Видеофон»),

Признать за Сухочевой Ольгой Николаевной право на назначение трудовой пенсии по старости досрочно в соответствии с абз.2 подпунктом 2 пункта 1 статьи 27 Федерального закона от 17.12.2001 г. № 173-ФЗ «О трудовых пенсиях в Российской Федерации» по Списку № 2 с 14.12.2010 года.

Обязать ГУ Управление Пенсионного Фонда РФ в г. Воронеже назначить и выплачивать Сухочевой Ольге Николаевне досрочную трудовую пенсию по старости в соответствии с абз.2 подпунктом 2 пункта 1 статьи 27 Федерального закона от 17.12.2001 г. № 173-ФЗ «О трудовых пенсиях в Российской Федерации» с 14.12.2010г.

В остальной части иска Сухочевой Ольги Николаевны к ГУ Управление Пенсионного Фонда РФ в г. Воронеже отказать.

Решение может быть обжаловано в Воронежский областной суд в течение месяца, начиная со дня принятия настоящего решения в окончательной форме.
Судья

Решение суда изготовлено в окончательной форме 26.04.2012г.

№2-854/12г.

Строка №27

РЕШЕНИЕ

Именем Российской Федерации

«17» апреля 2012 года Центральный районный суд г. Воронежа

в составе:

председательствующего судьи Клочковой Е.В.,

при секретаре Шерстниковой Н.И.,

с участием представителя истца по доверенности Исмагиловой Н.С.,

представителя ответчика по доверенности Крыловой Э.В., представителя 3-его лица ОАО «Видеофон» по доверенности Рублевой О.А.,

в отсутствие истца Сухочевой О.Н., представителя Департамента труда и социального развития Воронежской области, представителя ОАО завод «Процессор»

рассмотрел в открытом судебном заседании гражданское дело по иску Сухочевой Ольги Николаевны к ГУ Управление Пенсионного Фонда РФ в г. Воронеже о признании права на назначение досрочной трудовой пенсии по старости с 14.12.2010г., о возложении обязанности включить в специальный стаж периоды работы в качестве оператора прецизионной фотолитографии, о возложении обязанности назначить досрочную трудовую пенсию по старости с 14.12.2010г.,

Руководствуясь ст.ст. 67, 194 — 199 ГПК РФ, суд

решил:

Исковые требования Сухочевой Ольги Николаевны к ГУ Управление Пенсионного Фонда РФ в г. Воронеже о признании права на назначение досрочной трудовой пенсии по старости с 14.12.2010г., о возложении обязанности включить в специальный стаж периоды работы в качестве оператора прецизионной фотолитографии, о возложении обязанности назначить досрочную трудовую пенсию по старости с 14.12.2010г. удовлетворить частично.

Обязать ГУ Управление Пенсионного Фонда РФ в г.Воронеже включить Сухочевой Ольге Николаевне в стаж, дающий право на назначение трудовой пенсии по старости досрочно в соответствии с абз.2 подп.2 п.1 ст. 27 Федерального закона № 173-ФЗ от 17.12.2001г. «О трудовых пенсиях в Российской Федерации» период работы с 01.11.1990г. по 20.12.1995г. в качестве оператора прецизионной фотолитографии в цехе №40 на заводе при Научно-исследовательском институте бытовой видеотехники (в настоящее время ОАО «Видеофон»),

Признать за Сухочевой Ольгой Николаевной право на назначение трудовой пенсии по старости досрочно в соответствии с абз.2 подпунктом 2 пункта 1 статьи 27 Федерального закона от 17.12.2001 г. № 173-ФЗ «О трудовых пенсиях в Российской Федерации» по Списку № 2 с 14.12.2010 года.

Обязать ГУ Управление Пенсионного Фонда РФ в г. Воронеже назначить и выплачивать Сухочевой Ольге Николаевне досрочную трудовую пенсию по старости в соответствии с абз.2 подпунктом 2 пункта 1 статьи 27 Федерального закона от 17.12.2001 г. № 173-ФЗ «О трудовых пенсиях в Российской Федерации» с 14.12.2010г.

В остальной части иска Сухочевой Ольги Николаевны к ГУ Управление Пенсионного Фонда РФ в г. Воронеже отказать.

Решение может быть обжаловано в Воронежский областной суд в течение месяца, начиная со дня принятия настоящего решения в окончательной форме.

Профессия Оператор прецизионной фотолитографии (4-й разряд) в Едином Тарифно Квалификационном Справочнике

§ 84. Оператор прецизионной фотолитографии 4-й разряд

Характеристика работ.

Проведение всего цикла фотолитографических операций с разными материалами на одном образце с точностью совмещения +/- 2 мкм. Травление многослойных структур (AL-MO-AL) и сложных стекол (ФСС, БСС). Подбор и корректировка режимов нанесения, экспонирования, проявления, травления в зависимости от применяемых материалов в пределах технологической документации. Отмывка фотошаблонов, нанесение, сушка фоторезиста, проявление, задубливание, травление на автоматических линиях. Определение толщины фоторезиста и глубины протравленных элементов с помощью профилографа, профилометра. Определение адгезии фоторезиста и плотности проколов с помощью соответствующих приборов. Замер линейных размеров элементов под микроскопом. Совмещение маски и фотошаблона по реперным модулям и элементам. Определение процента дефектных модулей на фотошаблоне в процессе эксплуатации. Ретушь копии схемы с помощью микроскопа. Аттестация геометрических размеров элементов на маске и пластине кремния с помощью микроскопов с точностью +/- 3 мкм, на фотошаблоне — с точностью +/- 0,2 мкм. Проведение процесса двухсторонней фотолитографии. Определение неисправностей в работе установок и автоматического оборудования и принятие мер к их устранению.

Оператор прецизионной фотолитографии

Добавить комментарий

Ваш адрес email не будет опубликован. Обязательные поля помечены *